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发明名称 Process of amorphisation to structure semiconductor body.
摘要
申请公布号 EP0381207(B1) 申请公布日期 1994.03.23
申请号 EP19900101986 申请日期 1990.02.01
申请人 LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS-GMBH 发明人 KOENIG, ULF, DR.-ING.;KUISL, MAXIMILIAN, DR.RER.NAT.
分类号 H01L21/265;H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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