| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR HANDLING OBJECTS. |
| 摘要 |
Installation et procédé permettant la manipulation d'objets qui nécessitent des conditions de salle blanche lors de leur fabrication. A cet effet, une salle blanche comporte un espace de traitement (6) et une zone de nettoyage (8). Dans cet espace de traitement (6), les récipients de transport (12) sont nettoyés par un courant ionique. Cette conception et ce procédé permettent l'utilisation économique d'îlots propres dans des zones de production de tout genre et représentent donc une solution de remplacement économique en ce qui concerne les procédés de mise en oeuvre d'installations correspondant à l'état actuel de la technique. |
| 申请公布号 |
EP0587845(A1) |
申请公布日期 |
1994.03.23 |
| 申请号 |
EP19930906442 |
申请日期 |
1993.03.25 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
SWOBODA, BRUNO;SCHWARZE, JUERGEN;WILD, INGO |
| 分类号 |
A61J3/00;B25H1/20;B65B31/00;B65G49/00;C12M1/00;F24F3/16;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
A61J3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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