发明名称 MANUFACTURE OF PRODUCT INCLUDING PERIODIC HETEROEPITAXIAL SEMICONDUCTOR STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH0620949(B2) 申请公布日期 1994.03.23
申请号 JP19870263065 申请日期 1987.10.19
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ADACHI TAKASHI
分类号 B25J15/06;B65H3/08;B65H5/14;(IPC1-7):B65H3/08 主分类号 B25J15/06
代理机构 代理人
主权项
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