发明名称 COOLING DEVICE FOR VACUUM UTILIZING COMPRESSED AIR
摘要
申请公布号 JPH0681800(A) 申请公布日期 1994.03.22
申请号 JP19920233664 申请日期 1992.09.01
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 YOSHIDA TAKESHI;INOUE ETSUICHI
分类号 F04F9/06;(IPC1-7):F04F9/06 主分类号 F04F9/06
代理机构 代理人
主权项
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