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发明名称 PLASMA TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0681152(A) 申请公布日期 1994.03.22
申请号 JP19910081637 申请日期 1991.03.20
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 ONO SHINICHI;KUROKAWA KUNIAKI;SUDO SATORU
分类号 C23C16/50;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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