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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR FILLING PACKAGE
摘要
申请公布号 JPH0681144(A) 申请公布日期 1994.03.22
申请号 JP19930044437 申请日期 1993.02.10
申请人 INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> 发明人 HENRII JIYON GURABAATSU;ARUFURETSUDO GURIRU;UIRIAMU MAATEIN HORUBAA;JIYOSEFU SUKINAA ROOGAN;JIEIMUSU TEIENNCHIEN YAA
分类号 C23C14/34;C23C14/04;C23C14/32;C23C14/35;H01J37/32;H01L21/285;H01L21/768;H05H1/18;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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