| 发明名称 |
SPUTTERING TARGET AND ITS PRODUCTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0681142(A) |
申请公布日期 |
1994.03.22 |
| 申请号 |
JP19920253483 |
申请日期 |
1992.08.31 |
| 申请人 |
MITSUBISHI KASEI CORP |
发明人 |
UEDA TADAO;TAKEMURA KAZUNARI;TAMAI HIROSHI |
| 分类号 |
B23K15/00;C23C14/34;H01L21/203;H01L21/31;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
B23K15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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