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发明名称
MAGNETRON SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0681146(A)
申请公布日期
1994.03.22
申请号
JP19920233230
申请日期
1992.09.01
申请人
NEC CORP
发明人
SHIRAISHI YASUSHI
分类号
C23C14/35;H01L21/203;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/35
主分类号
C23C14/35
代理机构
代理人
主权项
地址
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