发明名称 |
TARGET OF PB SERIES FERROELECTRIC SUBSTANCE FOR SPUTTERING |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0681138(A) |
申请公布日期 |
1994.03.22 |
申请号 |
JP19920232393 |
申请日期 |
1992.08.31 |
申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP |
发明人 |
NODA FUMIO;YASUKAWA TAKAMASA |
分类号 |
C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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