| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR REMOVING WHISKER OF FILM CARRIER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0677291(A) |
申请公布日期 |
1994.03.18 |
| 申请号 |
JP19920252257 |
申请日期 |
1992.08.27 |
| 申请人 |
MITSUI MINING & SMELTING CO LTD |
发明人 |
NAKADA ATSUSHI;KUROKAWA TOSHIHIKO |
| 分类号 |
B08B3/12;C25D5/52;H01L21/60;H01L23/50;H05K3/22;(IPC1-7):H01L21/60 |
主分类号 |
B08B3/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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