发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0677103(A) 申请公布日期 1994.03.18
申请号 JP19920247355 申请日期 1992.08.24
申请人 RICOH CO LTD;RICOH RES INST OF GEN ELECTRON 发明人 MIURA HIROSHI
分类号 H01L21/02;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/363;H01L21/365;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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