| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR FORMING WIRING, AND SPECIMEN HOLDER FOR FORMING WIRING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0677259(A) |
申请公布日期 |
1994.03.18 |
| 申请号 |
JP19920229717 |
申请日期 |
1992.08.28 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
HONGO MIKIO;SANO HIDEZO;KAMIMURA TAKASHI;MIZUKOSHI KATSURO;TAKADA ATSUKIMI;KOMORIYA SUSUMU |
| 分类号 |
H01L21/285;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/365;(IPC1-7):H01L21/365 |
主分类号 |
H01L21/285 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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