| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR WAFER HEATING DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0677148(A) |
申请公布日期 |
1994.03.18 |
| 申请号 |
JP19920321996 |
申请日期 |
1992.12.01 |
| 申请人 |
NGK INSULATORS LTD |
发明人 |
NOBORI KAZUHIRO;USHIGOE RYUSUKE |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L21/22;H01L21/302;H01L21/3065;H05B3/14;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
