发明名称 METHOD FOR LAYING OUT ALIGNMENT MARK
摘要
申请公布号 JPH0677108(A) 申请公布日期 1994.03.18
申请号 JP19920227692 申请日期 1992.08.27
申请人 NIKON CORP 发明人 OTA KAZUYA
分类号 G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
主权项
地址