发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND TESTING METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH0675022(A) 申请公布日期 1994.03.18
申请号 JP19920231033 申请日期 1992.08.31
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SHIMIZU HIROSHI
分类号 G01R31/28;G11C11/401;G11C11/407;G11C29/00;G11C29/56;H01L21/66;H01L21/82;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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