| 摘要 |
<P>L'invention se rapporte à un procédé et à un dispositif pour contrôler l'épaisseur et l'uniformité d'épaisseur d'une couche transparente déposée sur un substrat sous forme de feuille. <BR/> De la lumière polychromatique (16) est projetée sur plusieurs endroits du substrat (10). En chaque endroit, l'intensité de la lumière réfléchie est mesurée (20) à au moins deux longueurs d'onde discrètes. Les mesures sont traitées (24) pour générer un signal électrique qui peut être comparé avec des valeurs-seuil prédéterminées et avec les signaux électriques générés aux autres endroits pour indiquer si l'épaisseur est comprise entre des tolérances prédéterminées. <BR/> L'invention est utile pour contrôler l'épaisseur d'une couche en cours de fabrication.</P> |
