发明名称 ANALYSIS OF MEMBRANE USING ELLIPSOMETER
摘要
申请公布号 JPH0674894(A) 申请公布日期 1994.03.18
申请号 JP19920225708 申请日期 1992.08.25
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 YOSHIOKA YOSHIFUMI
分类号 G01N21/21;(IPC1-7):G01N21/21 主分类号 G01N21/21
代理机构 代理人
主权项
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