发明名称 INTEGRATED CIRCUIT ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH0677326(A) 申请公布日期 1994.03.18
申请号 JP19920229018 申请日期 1992.08.28
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TSUCHIYA HIDENORI
分类号 H01L21/82;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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