发明名称 CARBON CLUSTER CONDUCTOR FILM AND MANUFACTURING METHOD THEREOF AS WELL AS SUPERCONDUCTIVE JOSEPHSON ELEMENT USING THE SAME AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0677548(A) 申请公布日期 1994.03.18
申请号 JP19920228903 申请日期 1992.08.27
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 UEHA YOSHINOBU;OKUDA NOBUYUKI
分类号 C01B31/02;H01B1/04;H01B5/14;H01L39/22;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 C01B31/02
代理机构 代理人
主权项
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