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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0677178(A) 申请公布日期 1994.03.18
申请号 JP19920227398 申请日期 1992.08.26
申请人 SONY CORP 发明人 SATO JUNICHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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