发明名称 MANUFACTURE OF BEAM LEAD TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0677370(A) 申请公布日期 1994.03.18
申请号 JP19920224214 申请日期 1992.08.24
申请人 YOKOGAWA ELECTRIC CORP 发明人 FUJITA TADASHIGE;OKA SADAJI;MIURA AKIRA;UCHIDA AKIRA;KAMATA HIROMI;KOBAYASHI SHINJI;YAGIHARA TAKESHI;NONOYAMA ATSUSHI
分类号 C23F1/02;H01L21/60;H01L23/50;(IPC1-7):H01L23/50 主分类号 C23F1/02
代理机构 代理人
主权项
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