发明名称 |
MANUFACTURE OF BEAM LEAD TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0677370(A) |
申请公布日期 |
1994.03.18 |
申请号 |
JP19920224214 |
申请日期 |
1992.08.24 |
申请人 |
YOKOGAWA ELECTRIC CORP |
发明人 |
FUJITA TADASHIGE;OKA SADAJI;MIURA AKIRA;UCHIDA AKIRA;KAMATA HIROMI;KOBAYASHI SHINJI;YAGIHARA TAKESHI;NONOYAMA ATSUSHI |
分类号 |
C23F1/02;H01L21/60;H01L23/50;(IPC1-7):H01L23/50 |
主分类号 |
C23F1/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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