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发明名称 ACCUMULATION METHOD FOR CONDUCTIVE LAYER AND DEVICE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0677157(A) 申请公布日期 1994.03.18
申请号 JP19920223093 申请日期 1992.08.24
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OZAWA SOICHIRO
分类号 C23C14/28;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/268;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/268 主分类号 C23C14/28
代理机构 代理人
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