| 发明名称 |
INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0677418(A) |
申请公布日期 |
1994.03.18 |
| 申请号 |
JP19920226891 |
申请日期 |
1992.08.26 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KAGA TORU;OJI YUZURU;KUBO SEIJI;SUGIURA JUN;KOIKE ATSUYOSHI;TAKEDA EIJI |
| 分类号 |
H01L27/06;H01L21/8249;(IPC1-7):H01L27/06 |
主分类号 |
H01L27/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
