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发明名称
摘要
申请公布号	JPH06502502(A)	申请公布日期	1994.03.17
申请号	JP19920500419	申请日期	1991.11.14
申请人		发明人
分类号	G03F1/08;G03F7/32;H01L21/027;(IPC1-7):G03F1/08	主分类号	G03F1/08
代理机构		代理人
主权项
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