发明名称 VERFAHREN ZUR VERMESSUNG SPIEGELNDER STRUKTUREN AUF TRANSPARENTEM UNTERGRUND
摘要
申请公布号 DD255788(B5) 申请公布日期 1994.03.17
申请号 DD19860295819 申请日期 1986.11.03
申请人 CARL ZEISS JENA GMBH,DE 发明人 HOLOTA,WOLFGANG,DIPL.-PHYS.,DE;WINKLER,KERSTIN,DIPL.-PHYS.,DE;SCHLICHTING,JOHANNES,DIPL.-ING. DR.,DE
分类号 G01B11/00;(IPC1-7):G01B11/00 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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