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发明名称 Feststellung des Endpunktes beim Graben-Ätzen durch laserinduzierte Fluoreszenz.
摘要
申请公布号 DE3786851(T2) 申请公布日期 1994.03.17
申请号 DE19873786851T 申请日期 1987.05.05
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 BENNETT, REID STUART, WAPPINGERS FALLS, N.Y. 12590, US;EPHRATH, LINDA MERO, LAGRANGE N.Y. 12540, US;SCHWARTZ, GERALDINE COGIN, POUGHKEEPSIE N.Y. 12603, US;SELWYN, GARY STEWART, HOPEWELL JUNCTION N.Y. 12533, US
分类号 H01L21/302;C23F1/00;G01N21/64;H01J37/32;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):H01J37/32;C23F4/00 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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