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发明名称
Position sensor.
摘要
申请公布号
EP0302178(B1)
申请公布日期
1994.03.16
申请号
EP19880105743
申请日期
1988.04.11
申请人
SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD
发明人
MIYATAKE, TSUTOMU
分类号
G01B11/00;G02B7/28;G02B13/24;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03B41/00
主分类号
G01B11/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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