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发明名称
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申请公布号 JPH0619460(B2) 申请公布日期 1994.03.16
申请号 JP19870169633 申请日期 1987.07.09
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 YUNOKI AKIRA
分类号 G01T1/20;G01J1/02;G01T1/24;H01L31/00;H01L31/09;H01L31/10;(IPC1-7):G01T1/20 主分类号 G01T1/20
代理机构 代理人
主权项
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