发明名称 Process for manufacturing metal layers.
摘要
申请公布号 EP0349882(B1) 申请公布日期 1994.03.16
申请号 EP19890111636 申请日期 1989.06.27
申请人 HERAEUS NOBLELIGHT GMBH 发明人 KOGELSCHATZ, ULRICH, DR.;ESROM, HILMAR, DR.;SUTCLIFFE, EMIL, DR.
分类号 C23C18/14;H05K3/10;(IPC1-7):C23C18/14;C23C18/16 主分类号 C23C18/14
代理机构 代理人
主权项
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