WINDOW FOR MICROWAVE PLASMA PROCESSING DEVICE.

摘要

Fenêtre de transmission (100) d'hyperfréquences pour un dispositif de traitement au plasma (1) caractérisée par un faible coefficient de réflexion et capable de générer un plasma homogène de manière stable et efficace. La fenêtre se présente sous forme d'un corps composé d'une ou plusieurs parties du même matériau diélectrique ou de matériaux diélectriques différents. Une surface (100a) de la fenêtre, faisant face à un cornet (107) de transmission d'hyperfréquences ou à un guide d'ondes (106), est de forme plane et s'étend perpendiculairement par rapport à une direction axiale. Une surface opposée (100b) de la fenêtre est en retrait, de sorte que le corps présente une épaisseur non uniforme entre les deux surfaces. La surface en retrait peut présenter des formes différentes, et les dimensions globales de la fenêtre peuvent être équivalentes aux dimensions d'une chambre de formation (104) de plasma du dispositif de traitement au plasma. L'orifice d'évacuation de la chambre de formation de plasma peut être pratiqué dans une paroi terminale, ou cet orifice peut être ménagé dans le pourtour interne de la chambre de formation de plasma.