发明名称 KATHODENZERSTAEUBUNGSANLAGE.
摘要
申请公布号 AT102265(T) 申请公布日期 1994.03.15
申请号 AT19900109079T 申请日期 1990.05.14
申请人 KERNFORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH 发明人 HILZ, GABRIELA;WALTER, STEFAN
分类号 B25J19/00;C23C14/04;C23C14/34;C23C14/56;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 B25J19/00
代理机构 代理人
主权项
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