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发明名称
METHOD FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号
JPH0673598(A)
申请公布日期
1994.03.15
申请号
JP19910133502
申请日期
1991.05.08
申请人
SUGANUMA KEIICHIRO
发明人
SUGANUMA KEIICHIRO
分类号
C25D5/08;C25D7/12;C25D17/00;H01L21/288;(IPC1-7):C25D17/00
主分类号
C25D5/08
代理机构
代理人
主权项
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