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发明名称 ELECTRON BEAM HEATER
摘要
申请公布号 JPH0673544(A) 申请公布日期 1994.03.15
申请号 JP19920229648 申请日期 1992.08.28
申请人 ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND CO LTD 发明人 NEHASHI KIYOSHI
分类号 C23C14/56;G21K5/04;H01J37/30;H05B7/00;(IPC1-7):C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
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