发明名称 FORMATION METHOD FOR WIRING OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH0669206(A) 申请公布日期 1994.03.11
申请号 JP19920219201 申请日期 1992.08.18
申请人 MIYAZAKI OKI ELECTRIC CO LTD;OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TATARA YASUYUKI;HARADA YUSUKE
分类号 H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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