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发明名称 VAPOR DRYING METHOD AND DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0669182(A) 申请公布日期 1994.03.11
申请号 JP19920237804 申请日期 1992.08.12
申请人 HITACHI LTD;HITACHI ELECTRON ENG CO LTD 发明人 TAMURA MINORU;MASUYAMA SHIGEJI;SHIMIZU SHIGEO;OSONO SHIGEJI;TAKAHASHI KENJI;OKAWA AKIRA;TAKAHASHI FUMIO;SEKINE SHIGEMI
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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