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发明名称
VACUUM TREATING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0673542(A)
申请公布日期
1994.03.15
申请号
JP19910157278
申请日期
1991.06.28
申请人
ANELVA CORP
发明人
KOBAYASHI MASAHIKO;TAKEMURA HIROSHI;ISHIDA TETSUO;TAKAHASHI NOBUYUKI
分类号
C23C14/54;C23C14/00;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/54
主分类号
C23C14/54
代理机构
代理人
主权项
地址
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