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发明名称 SEMICONDUCTOR TESTER AND JUDGING METHOD OF ELECTRIC CONTINUITY OF PROBE NEEDLE OF THE SEMICONDUCTOR TESTER
摘要
申请公布号 JPH0666869(A) 申请公布日期 1994.03.11
申请号 JP19920220449 申请日期 1992.08.19
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 OKA SHINSUKE
分类号 G01R1/073;G01R31/02;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/02 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
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