METHOD OF FLATTENING SURFACE OF FILLING IN TRENCH LEVELING METHOD FOR FILLING TRENCH,申请号JP19910089575-传众专利搜索

发明名称	METHOD OF FLATTENING SURFACE OF FILLING IN TRENCH LEVELING METHOD FOR FILLING TRENCH
摘要
申请公布号	JPH0669332(A)	申请公布日期	1994.03.11
申请号	JP19910089575	申请日期	1991.03.28
申请人	SONY CORP	发明人	TAKAHASHI HIROSHI
分类号	H01L21/316;H01L21/318;H01L21/76;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/76	主分类号	H01L21/316
代理机构		代理人
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