发明名称 PHOTOLITHOGRAPHY
摘要
申请公布号 JPH0669116(A) 申请公布日期 1994.03.11
申请号 JP19920238912 申请日期 1992.08.14
申请人 SONY CORP 发明人 SATOU YOSHIYUKI
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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