发明名称 INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0669210(A) 申请公布日期 1994.03.11
申请号 JP19920222414 申请日期 1992.08.21
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 OGASAWARA HIROSHI;UENO MASAYUKI
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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