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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0669339(A) 申请公布日期 1994.03.11
申请号 JP19920240099 申请日期 1992.08.18
申请人 HITACHI LTD 发明人 TAKAHASHI TOSHIRO;TSUTSUMIDA MITSUKI;SATO YASUO
分类号 H01L21/82;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/82;H01L21/90 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
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