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发明名称 METHOD FOR EVALUATING SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH0669300(A) 申请公布日期 1994.03.11
申请号 JP19920222800 申请日期 1992.08.21
申请人 JAPAN ENERGY CORP 发明人 KATAGIRI KEIJI
分类号 H01L21/265;H01L21/338;H01L21/66;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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