发明名称 FORMATION OF T-SHAPED ELECTRODE
摘要
申请公布号 JPH0669242(A) 申请公布日期 1994.03.11
申请号 JP19920219453 申请日期 1992.08.18
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SAITO TADASHI;OSHIMA TOMOYUKI
分类号 H01L21/28;H01L21/027;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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