发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0669359(A) 申请公布日期 1994.03.11
申请号 JP19920245911 申请日期 1992.08.20
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YAMASHITA TAKASHI
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/90;H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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