| 发明名称 |
SUBSTRATE TREATMENT APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0669316(A) |
申请公布日期 |
1994.03.11 |
| 申请号 |
JP19920250003 |
申请日期 |
1992.09.18 |
| 申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
NAKAHIGASHI TAKAHIRO;DOI AKIRA;KUWABARA SO |
| 分类号 |
C23C14/56;C23C16/44;C23F4/00;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
C23C14/56 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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