发明名称 VAPOR DRIER
摘要
申请公布号 JPH0669184(A) 申请公布日期 1994.03.11
申请号 JP19920237805 申请日期 1992.08.12
申请人 HITACHI LTD;HITACHI ELECTRON ENG CO LTD 发明人 TAMURA MINORU;YOSHII TAKEO;TANUMA NOBORU;NAOHARA HIROSHI;ROHATA TSUTOMU;KAWAMURA MEGUMI
分类号 F26B5/06;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 F26B5/06
代理机构 代理人
主权项
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