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发明名称 CVD SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH0669140(A) 申请公布日期 1994.03.11
申请号 JP19920221253 申请日期 1992.08.20
申请人 HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP 发明人 KURODA ATSUSHI
分类号 C23C16/46;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/46
代理机构 代理人
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