发明名称 SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH0669519(A) 申请公布日期 1994.03.11
申请号 JP19920219251 申请日期 1992.08.18
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP;OKUYAMA MASANORI 发明人 MITANI TATEKI
分类号 F16K31/02;G01L9/00;G01L9/04;H01L29/84;(IPC1-7):H01L29/84 主分类号 F16K31/02
代理机构 代理人
主权项
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