| 摘要 |
<P>L'invention concerne un capteur d'accélération ultrasensible comprenant une poutre flexible micromécanique (1) constituée sur un substrat en silicium (12), qui supporte à son extrémité libre un bobinage excitateur (4) alimenté en courant alternatif, disposé sur un noyau ferromagnétique (2) et fournissant un champ magnétique non-homogène, qui est disposé au voisinage d'un agencement SQUID (6) refroidi, le signal utile de l'agencement SQUID (6) étant amplifié notamment par un amplificateur de blocage (9) excité par un signal de référence de l'alimentation en courant alternatif.</P> |
