发明名称 TEST PROBE DEVICE FOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0669294(A) 申请公布日期 1994.03.11
申请号 JP19920219498 申请日期 1992.08.19
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 KATAOKA KOZO
分类号 G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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